Matcher Load position 관련 질문 드립니다.
2021.02.03 17:50
이제 막 Plasma라는 것에 첫발을 딛은 직장 입니다.
주파수는 13.56Mhz 사용 중입니다.
공정 Power가 500W -> 1000W로 올렸더니 Load position이 내려 갔습니다.
RF power가 상향되면 Load position이 내려가는 이유를 잘 모르겠습니다. (기계공학전공입니다.)
Load position이 내려가는 이유를 알려주실수 있을까요?
감사합니다.
댓글 1
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