Others 고온 플라즈마 관련
2012.06.04 11:49
안녕하세요?
배가스의 SOx와 NOx 처리에 저온 플라즈마를 사용하는데 관련된 논문이 있었는데,
그 중에서 Radical 생성이 잘 되지 않아서 문제가 있는 것을 봤습니다.
혹시 고온 플라즈마를 사용하여 Radical 생성을 더 잘 생성시킬 수 있을까요?
만약 고온 플라즈마가 Radical을 더 잘 생성시킬 수 있다면 왜 지금까지 연구하신 분들이 모두 저온 플라즈마를 사용하는 방안을
연구하셨을까요? 거기에 다른 이유가 있나요?
빠른 답변이면 감사하겠습니다.댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] | 73057 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17636 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55519 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65711 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86065 |
| 306 | 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] | 6482 |
| 305 | 안녕하세요, 질문드립니다. [2] | 6509 |
| 304 | RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] | 6511 |
| 303 | ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] | 6689 |
| 302 | 정전척 isolation 문의 입니다. [1] | 7281 |
| 301 | CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] | 7406 |
| 300 | Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. | 7544 |
| 299 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 7593 |
| 298 | 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] | 7597 |
| 297 | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 7682 |
| 296 | MFP에 대해서.. [1] | 7694 |
| 295 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 7848 |
| 294 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 7953 |
| 293 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 7961 |
| » | 고온 플라즈마 관련 | 8045 |
| 291 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8144 |
| 290 |
N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다.
[1]  | 8364 |
| 289 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8400 |
| 288 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8444 |
| 287 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8508 |