Others 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다.
2015.10.12 15:35
안녕하십니까? 지방 국립대학교 석사생입니다.
저온 플라즈마 장비에 관련되서 질문 드리고자 합니다.
고온의 물체(공구날)를 냉각시키는 목적으로 저온 플라즈마 장비를 찾는 중입니다.
이러한 목적에 부합하는 장비에 대한 정보를 요청드립니다.
감사합니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] | 76828 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20251 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57192 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68743 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92581 |
396 | 질문있습니다. [1] | 2576 |
395 | 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] | 2585 |
394 | 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] | 2591 |
393 | RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] | 2649 |
392 | 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] | 2653 |
391 | 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] | 2690 |
390 | PR wafer seasoning [1] | 2704 |
389 | 플라즈마 압력에 대하여 [1] | 2730 |
388 | PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] | 2780 |
387 | [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] | 2780 |
386 | 임피던스 매칭회로 [1] | 2818 |
385 | Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] | 2828 |
384 | 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] | 2835 |
383 | HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? | 2879 |
382 | VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] | 2884 |
381 | HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] | 2904 |
380 | RF matcher와 particle 관계 [2] | 2948 |
379 | Plasma etcher particle 원인 [1] | 2986 |
378 | Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] | 2995 |
377 | Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] | 3057 |