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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62215
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255 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1476
254 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 1473
253 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1467
252 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 1464
251 터보펌프 에러관련 [1] 1432
250 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 1428
249 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 1424
248 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1423
247 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1420
246 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1393
245 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 1386
244 질문있습니다. [1] 1377
243 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1365
242 etching에 관한 질문입니다. [1] 1359
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