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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이
[1] | 2318 |
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플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는?
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355 |
[Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련]
[3] | 2273 |
354 |
RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문
| 2241 |
353 |
sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지
[1] | 2221 |
352 |
RPS를 이용한 SIO2 에칭
[1] | 2217 |
351 |
Wafer particle 성분 분석
[1] | 2216 |
350 |
Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련.
[1] | 2196 |
349 |
부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리
[1] | 2182 |
348 |
PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성....
[1] | 2161 |
347 |
CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다
[1] | 2159 |
346 |
플라즈마볼 제작시
[1] | 2154 |
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교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다.
[2] | 2153 |
344 |
임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[4] | 2149 |
343 |
양극 코로나 방전에 대한 질문입니다.
[1] | 2128 |
342 |
etching에 관한 질문입니다.
[1] | 2115 |
341 |
[RIE] reactive, non-reactive ion의 역할
[1] | 2105 |
340 |
Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요?
[1] | 2101 |
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플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다.
[1] | 2091 |
338 |
안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다.
[1] | 2089 |