안녕하세요. 플라즈마응용연구실 관라자입니다.

 

금일부터 QnA 글을 작성하기 위해 등업제도를 일부 이용합니다.

 

해당 공지 게시글에 가입 인사를 적어주시면 QnA 글을 쓸 수 있는 권한을 받게 됩니다.

(*별도의 권한 처리 없이 댓글 등록시 바로 QnA 작성이 가능해집니다.)

 

글 작성 전에 반드시 댓글을 남겨주시고 QnA 글을 작성해주시기 바랍니다.

 

감사합니다.

 

** 기존에 글을 작성하셨던 분들도 권한 처리가 필요하므로 간단하게라도 댓글 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
» [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5837
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17294
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53129
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64521
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85135
298 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 1899
297 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1871
296 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1847
295 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1819
294 가입인사드립니다. [1] 1810
293 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 1796
292 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 1779
291 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1774
290 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1774
289 chamber impedance [1] 1760
288 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1718
287 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1707
286 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 1681
285 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1676
284 etching에 관한 질문입니다. [1] 1674
283 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1650
282 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1629
281 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1629
280 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1611
279 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 1601

Boards


XE Login