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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59451
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214 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 23720
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206 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23037
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204 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] 21048
203 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 23938
202 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 24719
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199 Plasma Gas의 차이점 [1] 16903
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