ATM Plasma 대기압 플라즈마

2011.03.20 23:03

김기수 조회 수:40706

안녕하세요
대기압 플라즈마 장비를 관리를 하는데
세라믹에 아크가 발생하여
세라믹이 구멍이 나면서 크랙이 갑니다.
원인을 자세히 설명 부탁드립니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76748
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20217
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57169
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68707
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92305
370 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 2265
369 etching에 관한 질문입니다. [1] 2262
368 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2239
367 플라즈마볼 제작시 [1] file 2238
366 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2236
365 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2234
364 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2231
363 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2173
362 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2130
361 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2130
360 doping type에 따른 ER 차이 [1] 2052
359 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 2019
358 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 2019
357 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 2016
356 chamber impedance [1] 2010
355 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 2008
354 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1989
353 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 1986
352 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1983
351 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1974
쓰기
태그

Boards

XE Login