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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[275]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20242 |
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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375 |
M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다.
[1] | 3165 |
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374 |
아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서
| 3166 |
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373 |
matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 3198 |
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372 |
Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 3214 |
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371 |
electron energy distribution에 대해서 질문드립니다.
[2] | 3218 |
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370 |
PECVD Precursor 별 Arcing 원인
[1] | 3317 |
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369 |
PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다.
[1] | 3326 |
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368 |
Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다.
[2] | 3327 |
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367 |
RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다.
[2] | 3334 |
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366 |
plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다.
[2] | 3403 |
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365 |
RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다.
[1] | 3423 |
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364 |
Bias 관련 질문 드립니다.
[1] | 3435 |
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363 |
코로나 방전의 속도에 관하여...
[1] | 3444 |
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362 |
Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다.
[1] | 3465 |
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361 |
dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요?
[1] | 3535 |
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360 |
Plasma Etch시 Wafer Edge 영향
[1] | 3542 |
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359 |
ESC Cooling gas 관련
[1] | 3546 |
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358 |
CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요?
[3] | 3553 |
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357 |
방전에서의 재질 질문입니다.
[1] | 3558 |
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356 |
플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요?
[1] | 3636 |
