안녕하세요. 저는 환경업체에 다니고 있는 황성구라고 합니다.

플라즈마 관련해서는 제가 너무 모르는 분야라 자료를 찾기도 힘들고 그래서 염치불구하고 이곳에 글을 남겨봅니다.

제가 이번에 회사에서 플라즈마 관련해서 연구과제를 맡은게 있습니다.

수중방전을 통해 플라즈마를 생성시키는 것인데요.

이때 수중에 용존되어 있는 NH3(암모니아성질소), NO3(질산성질소)를 처리할 수 있는 방법이 있나요?

제 생각에는 플라즈마가 생성되면서 나오는 전자가 NH3(암모니아성질소), NO3(질산성질소) 이온들을 깨서

N과 H로 분리 할 수 있다고 생각해서 플라즈마 공정을 만들어 보려고 합니다. 그런데 플라즈마로 이 이온들을 깨는게

이론적으로나 실제적으로 가능한것인지 알고 싶습니다.

pilot 플랜트를 만들어서 해보려고 하는데, 이왕이면 처음부터 실현 가능한 방법으로 공정을 만들려고 합니다.

도움을 받고 싶습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76730
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20196
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68701
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92280
369 활성이온 측정 방법 [1] 572
368 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1460
367 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2227
366 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1737
365 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 2314
364 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1944
363 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1871
362 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 800
361 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1141
360 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1292
359 DC bias (Self bias) [3] 11261
358 ICP와 CCP의 차이 [3] 12486
357 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 784
356 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1865
355 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 9519
354 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2644
353 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1973
352 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1463
351 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 576
350 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2633

Boards


XE Login