Others 활성이온 측정 방법
2017.11.07 15:04
안녕하세요
배가스 제거 기술 개발을 하고 있는 직장인 이성수라고 합니다.
플라즈마 관련 문의 사항이 있어서 연락을 드립니다.
오존을 이용하여 gas를 분해하는 기술에 대해서 알아보고 있는데요
오존이 아닌 플라즈마 이온이 gas를 분해하는데 더 강한 산화제로 작용울 할수 있는것 같습니다.
그래서 오존발생기(플라즈마방식)에서 오존 외에 활성이온량을 측정할수 있는 방법을 찾고 있습니다.
활성이온량을 측정할수 있는 방법이 있는지요?
그리고 플라즈마 밀도를 측정하기 위해서 EOS 를 사용하는 것으로 알고 있는데요
플라즈마 밀도와 활성이온량의 의미는 같은것인지요?
현재 활성이온 측정 방법을 알수 없어서 개선방법을 못찾고 있습니다.
교수님의 고견 부탁 드립니다.
감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] | 78037 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20847 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57737 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69253 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93631 |
399 |
langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다.
[1] ![]() | 1052 |
398 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1074 |
397 | 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! | 24137 |
396 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1484 |
395 | 플라즈마 기초입니다 [1] | 1313 |
394 | O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] | 1596 |
393 | CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] | 1661 |
392 | 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] | 2125 |
391 | PR wafer seasoning [1] | 2740 |
390 | 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] | 6556 |
389 | 플라즈마 기본 사양 문의 [1] | 633 |
388 | RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] | 1964 |
387 | wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] | 1897 |
386 | VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] | 2979 |
385 | 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] | 1031 |
384 | ICP 후 변색 질문 | 763 |
383 | Plasma etcher particle 원인 [1] | 3120 |
382 | PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] | 2444 |
381 | Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 | 358 |
380 | ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 | 4431 |
관련 연구는 기계 연구소의 송영훈박사 팀에서 아주 오랫동안, 매우 열심히 연구를 하고 있는 분야입니다. 따라서 기계 연구소 송영훈 박사 팀을 소개합니다. https://www.kimm.re.kr/eco04 (한국기계연구원/환경시스템연구본부/플라즈마연구실)에 방문을 추천합니다.