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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68542
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356 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 3519
355 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3538
354 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3544
353 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3579
352 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3589
351 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 3595
350 Descum 관련 문의 사항. [1] 3670
349 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3721
348 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 3774
347 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3812
346 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3846
345 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3915
344 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 3938
343 the lines of magnetic  induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [1] file 3975
342 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4056
341 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 4089
340 플라즈마 색 관찰 [1] 4145
339 Dry Etching Uniformity 개선 방법 [2] 4200
338 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 4266
337 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 4275

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