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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76723
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20172
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57165
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68696
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92273
368 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3322
367 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3323
366 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3382
365 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3407
364 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3411
363 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3443
362 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3443
361 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 3507
360 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 3526
359 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3531
358 ESC Cooling gas 관련 [1] 3532
357 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3557
356 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 3615
355 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 3645
354 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3686
353 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3698
352 Descum 관련 문의 사항. [1] 3721
351 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3746
350 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 3766
349 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3804

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