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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62216
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239 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1336
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230 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1259
229 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 1252
228 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1211
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226 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 1195
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224 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1182
223 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1177
222 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1176
221 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1166

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