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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68541
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354 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 2189
353 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2187
352 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2178
351 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2155
350 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2129
349 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2072
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344 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1937
343 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1935
342 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 1921
341 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 1906
340 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1905
339 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1902
338 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1896
337 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1891

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