번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [127] 5585
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16861
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51344
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64191
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84169
271 터보펌프 에러관련 [1] 1497
270 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1495
269 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1488
268 질문있습니다. [1] 1481
267 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1476
266 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1472
265 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1462
264 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1450
263 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1430
262 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1429
261 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1409
260 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 1408
259 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1391
258 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 1385
257 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 1357
256 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1346
255 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1333
254 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1327
253 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1317
252 CVD 공정에서의 self bias [1] 1302

Boards


XE Login