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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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LF Power에의한 Ion Bombardment [플라즈마 장비 물리]
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CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [Paschen's Law, P-d 방전 곡선]
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doping type에 따른 ER 차이 [MD 시뮬레이션 연구]
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안녕하세요. 교수님 ICP 관련하여 문의드립니다. [충돌 단면적 및 반응 계수]
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Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [ESC coating와 dummy load]
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Etch 공정(PE mode) Vpp 변동 관련. [Self bias 형성 과정과 전자의 에너지]
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CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다. [플라즈마 특성변화와 SH impedance 변화]
[1] | 2731 |
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sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [Sputter와 sheath, flux]
[1] | 2710 |
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etching에 관한 질문입니다. [충돌 현상 및 이온화 과정]
[1] | 2703 |
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PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [PECVD와 PACVD]
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플라즈마볼 제작시 [전기장 형성 및 플라즈마 방전]
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교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [Self bias 및 ICP E/H mode]
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RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [라디컬 측정 방법 및 세정 기술]
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플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다. [Experiment와 KFE]
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plasma etching을 관련 문의드립니다. [반도체 공동 연구소]
[1] | 2637 |
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CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [Plasma information variable model]
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Wafer particle 성분 분석 [플라즈마 세정]
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Remote Plasma가 가능한 이온 [Remote plasma와 diffusion]
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압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [MFC와 residence time]
[1] | 2606 |
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부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [Self bias의 이해]
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