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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93631
399 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2374
398 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2373
397 etching에 관한 질문입니다. [1] 2353
396 플라즈마 식각 공정 중 폴리머의 거동 [재료 표면 반응] [1] 2324
395 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2324
394 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2305
393 플라즈마볼 제작시 [1] file 2298
392 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2277
391 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 2273
390 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 2253
389 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 2248
388 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2215
387 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2212
386 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2202
385 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 2177
384 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 2131
383 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 2125
382 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 2117
381 doping type에 따른 ER 차이 [1] 2113
380 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 2091
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