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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [Physical sputtering과 cleaning]
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CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [Breakdown과 impedance]
[3] | 1919 |
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플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다. [Experiment와 KFE]
[1] | 2677 |
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PR wafer seasoning [Particle balance, seasoning]
[1] | 2941 |
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플라즈마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [Plasma 이온화]
[1] | 6676 |
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플라즈마 기본 사양 문의 [형광등 동작 원리]
[1] | 808 |
388 |
RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [Ionization과 chucking]
[1] | 2832 |
387 |
wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [ER과 self bias]
[1] | 2283 |
386 |
VI sensor를 활용한 진단 방법 [Monitoring과 target]
[2] | 3407 |
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아래 382번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [Self bias와 capacitance]
[1] | 1289 |
384 |
ICP 후 변색 질문
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Plasma etcher particle 원인 [Particle issue와 wafer의 sheath]
[1] | 3642 |
382 |
PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAT <-> STAGE HEATER 간 GAP과 DEPO 막질의 THK와의 연관성…. [Plasma property와 process control]
[1] | 2846 |
381 |
Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정
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ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할
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379 |
Plasma에서 Coupled(결합)의 의미 [Power coupling과 breakdown]
[1] | 1290 |
378 |
고진공 만드는방법. [System material과 design]
[1] | 1284 |
377 |
PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [Pd condition과 PDP]
[1] | 680 |
376 |
플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [Plasma torch와 cyanide]
[2] | 937 |
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플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [B-dot probe, plasma diagnostics]
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공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.