안녕하세요?

호서대학교 에너지공학과 재학중인 강병우라고 합니다.

스퍼터링을 공부하다가, 플라즈마에 대해 궁금한게 생겨서 질의 드립니다.

 "플라즈마 구 예시"(링크)

 

플라즈마 구의 경우, 중심부에 음극을 위치시키고, 구 안에 비활성기체를 넣어주고, 고전압을 걸어주면 방전현상이 일어나게 된다까지는 이해가 됩니다.

 

그런데, 스퍼터링의 경우에는 음극과 양극이 위치하고 있어서, 방전으로 인해 생긴 전자가 양극을 통해 흘러서 전자의 흐름이 발생할 것입니다. 스퍼터링 기구 안에서의  전자의 흐름으로 인해 전자기파도 발생하고, 전자가 다른 입자에 부딪혀 여기시키면서 한번더 전자파를 발생시키고, 이로 인해, 플라즈마가 빛을 나타내는 것으로 이해하고 있습니다.

 

그런데, 플라즈마구의 경우에 따로 양극이 없고 유리로 둘러쌓여있는데, 이 전자가 흘러나갈 수 있는 통로가 있나요?

 

손가락을 갖다 대거나 하면, 빛이 손가락 쪽을 향하는데, 그럼 이 플라즈마로 보이는 빛, 즉 전자가 유리를 뚫고, 손가락을 통해 빠져나가는 것인가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] 76828
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20251
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57192
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68743
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92581
356 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1971
355 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1967
354 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1965
353 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1957
352 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1954
351 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1953
350 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1919
349 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1919
348 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1918
347 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1913
346 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1902
345 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1901
344 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1886
343 가입인사드립니다. [1] 1880
342 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1879
341 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1873
340 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1864
339 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1863
338 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1853
337 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1822

Boards


XE Login