번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65737
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86107
267 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1515
266 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 1509
265 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 1509
264 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1501
263 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 1498
262 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1494
261 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 1481
260 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1478
259 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 1468
258 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1467
257 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1447
256 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1445
255 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 1442
254 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 1408
253 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 1389
252 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1389
251 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1382
250 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1360
249 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1351
248 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1344

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