Plasma 를 공부하는 중에  bulk plasma 가 아닌 chamber wall 에서의 반응들에 대해 공부하게 되었는데요.

3-body recombination 에 대해 문의드리고자 합니다.

형성된 plasma 가 소모되는 가장 큰 이유로 chamber wall 에서의 충돌이 있다고 알고 있습니다.

단순히 ion 과 electron 이 결합하여 neutral 이 되는 확률은 0 에 수렴하기 때문에

chamber wall 을 통한 3-body recombination 으로 neutral 이 된다고 했는데요.

이때 chamber wall 로의 charge transfer 도 3-body collision 에 의해서 진행되는것인가요?


이렇게 질문을 드리는 이유는

중성빔을 발생시킬때 plasma 를 reflecter 로 입사하여 reflecter 에 charge transfer 후 중성빔을 형성한다고 배웠습니다.

이때 ion 의 charge 가 trasfer 되는 원리가 3-body recombination process 에 의해서 된다고 들은 기억이 있는데

막상 이를 도식화 하려니까 정리 및 이해가 아직 잘 안됩니다.



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] 76816
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20246
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57187
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68739
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92576
355 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1971
354 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1965
353 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1963
352 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1957
351 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1954
350 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1952
349 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1919
348 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1918
347 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1916
346 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1910
345 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1901
344 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1901
343 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1882
342 가입인사드립니다. [1] 1880
341 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1879
340 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1873
339 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1863
338 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1861
337 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1852
336 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1822

Boards


XE Login