ESC 정전척 isolation 문의 입니다.
2013.08.29 16:00
안녕하세요
이번에 정전척부분을 설계하게 되었습니다.
정전척과 cooling plate는 연결되어 있고 그 조립품은 챔버와 isolation시켜야 한다는데 그 이유가 궁금합니다.
또 isolator는 얼마만큼의 두께로 선정해야 하는지 궁금합니다.
isolator의 재질은 ptfe를 사용하려고 합니다.
선정공식이나 선정 근거에 대한 도움부탁드립니다.
안녕히계세요.
댓글 1
-
김곤호
2013.09.13 12:14
기본적으로 정전척은 하나의 전극입니다. 반응기 (chamber) 벽면과 전극은 분명 전기적으로 떨어져야 전력을 인가할 수 있을 것입니다. 또한 절연재는 절연 파괴 전압을 고려하시면 되고 여기서 전압은 설계된 정전척에 인가되는 전압을 허용할 수 있어야 함을 참고하여 관련 재료의 전기적 특성에 대한 정보를 찾아 보세요. 여기서 절연파괴현상은 절연재(PTFE) 뿐만아니라 전극간에 형성된 전기장에서 플라즈마가 개시되는 현상도 절연파괴 전압 (pachen's law: 파션의 법칙)에 준해서 전극에 전력을 인가하게 됩니다. 이에 대해서는 본 난에서 소개한 바 있으니 이를 참고해 보시기 바랍니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76736 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68702 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
| 349 | RF frequency와 RF power 구분 | 39063 |
| 348 | RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 | 2281 |
| 347 | PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] | 2765 |
| 346 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 679 |
| 345 | Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] | 3530 |
| 344 | O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] | 6412 |
| 343 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8596 |
| 342 | 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] | 1900 |
| 341 | 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] | 432 |
| 340 | 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] | 920 |
| 339 | RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] | 5152 |
| 338 | 가입인사드립니다. [1] | 1880 |
| 337 | 문의 드립니다. [1] | 868 |
| 336 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 657 |
| 335 |
dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!!
[1]  | 1402 |
| 334 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1423 |
| 333 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 1022 |
| 332 | O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] | 6182 |
| 331 | 강의를 들을 수 없는건가요? [2] | 1445 |
| 330 |
입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate
| 373 |