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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62217
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217 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1140
216 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1138
215 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1137
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213 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1124
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211 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 1120
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208 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1099
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206 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1082
205 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 1081
204 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1073
203 플라즈마 기초입니다 [1] 1044
202 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1022
201 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 1005

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