Deposition 플라즈마 색 관찰

2018.05.08 14:21

우인범 조회 수:4298

안녕하세요, 반도체분야로 취업하려는 취업준비생입니다.


얼마전에 공정실습을 다녀왔었는데요. SiO2 를 PECVD로 증착하는 과정에서 플라즈마 관찰을 했었습니다. process gas로 N2O를 SiH4보다 많이 투입했음에도 불구하고 SiH4의 플라즈마 색이 관찰된 것에 대해서 이유를 분석해보라는 문제를 주셨습니다. 


당시에는 두 가스의 플라즈마 색이 갖는 파장이 합성됐을 때 푸리에와 관련해서 나온 현상이라고 이해했었는데, 다시생각해보니 정확한 정리가 잘 되지 않았습니다.


이 현상에 대해서 피드백을 받을 수 있을까요??

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76871
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20273
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92694
357 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1982
356 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1974
355 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1973
354 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1961
353 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1960
352 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1957
351 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1943
350 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1930
349 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1928
348 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1920
347 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1906
346 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1904
345 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1897
344 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1882
343 가입인사드립니다. [1] 1880
342 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1876
341 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1875
340 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1865
339 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1858
338 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1850
쓰기
태그

Boards

XE Login