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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화
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Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다.
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265 |
N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다.
[1] | 1509 |
264 |
Remote Plasma 가 가능한 이온
[1] | 1501 |
263 |
RPG Cleaning에 관한 질문입니다.
[2] | 1498 |
262 |
ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage
[1] | 1494 |
261 |
ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다.
[1] | 1481 |
260 |
안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다.
[1] | 1478 |
259 |
쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문
[1] | 1468 |
258 |
플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다.
[1] | 1468 |
257 |
RF generator 관련 문의드립니다
[3] | 1447 |
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안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다!
[1] | 1445 |
255 |
안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다.
[1] | 1442 |
254 |
[RIE] reactive, non-reactive ion의 역할
[1] | 1408 |
253 |
RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계
[1] | 1391 |
252 |
압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문
[1] | 1389 |
251 |
O2 플라즈마 클리닝 관련 질문
[1] | 1382 |
250 |
wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상
[1] | 1360 |
249 |
Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여
[1] | 1357 |
248 |
플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다.
[1] | 1345 |
공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.