안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76542
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
323 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7629
322 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1267
321 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1399
320 SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [1] 5185
319 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 5938
318 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 8037
317 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 6045
316 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2470
315 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3857
314 Ar plasma power/time [1] 1429
313 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3968
312 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] 17334
311 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1382
310 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7161
309 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1925
308 N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] 11293
307 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4127
306 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 840
305 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1904
304 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3043

Boards


XE Login