안녕하세요 김곤호 교수님 저는 수중방전 관련 연구를 하고있는 학생입니다.

수중 방전관련해서 부족한 점이 너무 많아서 이렇게 질문을 드리게 되었습니다.

1. DC50V이하의 저전압 수중방전에서 UV가 발생하지 않을시 OH라디칼이나 플라즈마를 측정할수 있는 방법이 있는지 궁금합니다.

2. 저전압 수중방전에서 전기분해와 수중 플라즈마 방전의 차이점을 알고 싶습니다.

3. 전극의 형상과 인가전압[pulsed,pulseless]에 따라 전자가 받는 에너지[eV]를 구할수 있는 식이나 내용과 관련된 책이 있는지 궁금합니다.

4. 수중방전에서 아크, 코로나, 글로우 방전 각각의 특징을 알고 싶습니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76441
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19999
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57074
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68544
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91346
317 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 6024
316 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2440
315 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3818
314 Ar plasma power/time [1] 1416
313 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3919
312 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] 17239
311 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1372
310 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7093
309 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1909
308 N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] 11193
307 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4060
306 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 837
305 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1898
304 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3022
303 Dry Etching Uniformity 개선 방법 [2] 4202
302 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1193
301 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1815
300 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1671
299 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3722
298 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3128

Boards


XE Login