안녕하세요

반도체 관련 연구를 진행하고 있는 과정에 궁금한 부분이 있어서 글을 남기게 되었습니다.


아시는 바와 같이 J-R Type ESC는 강한 Chucking Force 대비 Process 진행 후 ESC Surface에 Residual Charge가 남아있게 되어 정전기적 힘에 의해 WF 깨짐이나 Sticking등의 문제가 발생, 추가적인 과정을 통해 잔류전하를 제거해야 합니다. 예를들어 ESC를 Ground or Reverse Voltage or Plasma Dechuck등

그중에 Plasma Dehuck를 사용한 Residual Charge 제거 원리가 궁금합니다.


1. 기본적으로 J-R Type의 ESC 에서 RF를 이용한 Etching 진행시, negative 전자로 발생한 Self DC Bias에 의해 + ion이 WF에 이온 충돌을 사용하는데

Process 과정에서 WF 표면의 Charge 관점만 생각하면 Charge가 0v가 되는게 이론상으로 맞는건가요??? (Electon Flux=Ion Flux의 개념을 기반으로)


2. 공정 Condition에 따라 WF에 잔류 전하가 + 이든 - 이든 미량으로 남아있다고 할때, Plasma Dechuck 과정으로 전하 Neutralize가 일어난다고 하는데 이 과정에서 Low Power Plasma의 전자와 이온이 WF에 입사될때 WF에 남아있는 + 와 - Charge와 Compensation 되는 과정으로 이해하면 될까요???


3. 최종적으로 Process -> Plasma Dechuck 이후에는 WF 상의 Charge가 Zero 인것이 베스트인데, 그렇지 못할경우 이론적으로 WF 상의 잔류 전하는 Positive 일지, Negative 일지 어느정도 예상할수 있을까요?


질문이 모호하긴 한데 WF 표면상의 Charge 와 Plasma Dechuck 과정의 메커니즘이 직관적으로 와닺지가 않습니다.

도움 부탁드립니다, 감사합니다...

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76437
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19997
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57070
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68543
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91344
317 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 6024
316 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2439
315 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3815
314 Ar plasma power/time [1] 1416
313 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3918
312 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] 17239
311 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1372
310 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7093
309 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1908
308 N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] 11191
307 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4057
306 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 837
305 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1896
304 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3022
303 Dry Etching Uniformity 개선 방법 [2] 4202
302 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1193
301 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1814
300 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1669
299 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3721
298 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3128

Boards


XE Login