Others Peak RF Voltage의 의미
2004.06.28 01:58
질문
안녕하세요...
제가 사용중인 Matching Network 상에 RF Peak Volt가 Display되는데요.
이것의 의미가 궁금하구요, 이 Voltage와 Power와는
어떠한 관계가 있는지 궁금합니다.
감사합니다,.
답변
CCP 나 ICP의 전극이나 안테나에 인가되는 Power은
Current x Voltage 입니다. 여기서 전류나 전압값은 rms 값으로
peak 값의 1/sqrt(2) 값을 뜻하지요. 즉, peak 값은 약 70%에 해당합니다. 따라서 표시되는 전압은 CCP의 경우 power electrode에 인가되는
전압이며 ICP의 경우 안테나에 걸리는 전압의 peak 값입니다. 만일 전류가 일정하다면 전압의 크기가 커지게 되면 당연히 인가 전력이 증가하합니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76761 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20221 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57173 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68711 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92335 |
330 | 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] | 1808 |
329 | wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] | 1797 |
328 | 터보펌프 에러관련 [1] | 1762 |
327 | Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] | 1753 |
326 | ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] | 1742 |
325 | CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] | 1734 |
324 | 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] | 1703 |
323 | CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] | 1692 |
322 | 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] | 1687 |
321 | RF 전압과 압력의 영향? [1] | 1679 |
320 | 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] | 1671 |
319 | Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] | 1662 |
318 | Pecvd 장비 공정 질문 [1] | 1662 |
317 | EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] | 1651 |
316 | standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] | 1614 |
315 | CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] | 1610 |
314 | ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] | 1605 |
313 | 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] | 1600 |
312 | O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] | 1562 |
311 | 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] | 1533 |