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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다.
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압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다.
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CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다.
[3] | 1321 |
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수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다.
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데포 중 RF VDC DROP 현상
[1] | 1313 |
242 |
Plasma 발생영역에 관한 질문
[2] | 1306 |
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플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다....
[1] | 1306 |
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전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
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강의를 들을 수 없는건가요?
[2] | 1296 |
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doping type에 따른 ER 차이
[1] | 1291 |
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poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
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플라즈마 내에서의 현상
[1] | 1280 |
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rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다.
[1] | 1277 |
234 |
Impedence 위상관련 문의..
[1] | 1274 |
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Ar plasma power/time
[1] | 1271 |
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dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!!
[1] | 1268 |
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PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다.
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MATCHER 발열 문제
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CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도
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ICP reflecot power 관련 질문드립니다.
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공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.