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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [Breakdown voltage 및 이온화 에너지]
[1] | 2289 |
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wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [ER과 self bias]
[1] | 2278 |
371 |
RF 전압과 압력의 영향? [DC glow 방전, Paschen's Law]
[1] | 2276 |
370 |
RF FREUNCY와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [CCP와 ionization]
[1] | 2248 |
369 |
N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [N2 Ionizer 이온 및 중성 입자 해석]
[1] | 2227 |
368 |
PECVD 증착에서 etching 관계 [PECVD 증착]
[1] | 2205 |
367 |
ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [Excitation transfer 반응과 방사천이율]
[1] | 2201 |
366 |
13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching]
[1] | 2159 |
365 |
ICP와 CCP에서의 Breakdown voltage [Breakdown과 E-H transition]
[1] | 2143 |
364 |
유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [전기장 내 입자 거동]
[2] | 2134 |
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CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [Wafer bias와 chuck cap]
[1] | 2133 |
362 |
CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [Plasma chemistry]
[3] | 2103 |
361 |
EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [Plasma spectroscopy]
[1] | 2101 |
360 |
Pecvd장비 공정 질문 [Dusty plasma와 벽면 particle 제어]
[1] | 2100 |
359 |
Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [Matcher와 Plasma Impedence]
[1] | 2083 |
358 |
OES 분석 관련해서 질문드립니다. [Intensity 넓이 계산]
[1] | 2074 |
357 |
glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [고전압 방전 및 DBD]
[2] | 2074 |
356 |
plasma 형성 관계 [Paschen's law, 플라즈마 주파수]
[1] | 2070 |
355 |
PECVD와 RIE의 경계에 대해 [DC bias 형성 판단]
[1] | 2070 |
354 |
터보펌프 에러관련 [터보 펌프 구동 압력]
[1] | 2068 |
공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.