Monitoring Method charge effect에 대해 [Self bias 및 capacitively couple]

2019.03.20 11:10

리미 조회 수:1651

안녕하세요

저는 SiO2 기판을 홀더 위에 두고 수소플라즈마를 띄워 실험을 진행하는데

이 기판이 부도체이다보니 기판에 전하가 빠져나가지 못하고 축적되는 것 같습니다.

이 기판의 charge effect를 챔버안 플라즈마를 띄운 상태에서 어떤 장비를 사용하여 실험적으로 어떻게 측정할 수 있는지 혹은 관련 논문이 있는지 알고싶습니다.

답변기다리고 있겠습니다. 감사합니다.

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