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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68521
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311 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1719
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302 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1623
301 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1600
300 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1581
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