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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다.
[1] | 1819 |
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wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상
[1] | 1806 |
335 |
Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성
[1] | 1770 |
334 |
터보펌프 에러관련
[1] | 1768 |
333 |
ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage
[1] | 1756 |
332 |
CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문
[1] | 1746 |
331 |
압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문
[1] | 1706 |
330 |
CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다.
[3] | 1700 |
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다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련
[1] | 1697 |
328 |
RF 전압과 압력의 영향?
[1] | 1688 |
327 |
안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다.
[1] | 1675 |
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Pecvd 장비 공정 질문
[1] | 1672 |
325 |
Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여
[1] | 1670 |
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EEDF, IEDF, Cross section관련 질문
[1] | 1667 |
323 |
standing wave effect에 대한 질문이 있습니다.
[1] | 1636 |
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CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다.
[3] | 1620 |
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ICP reflecot power 관련 질문드립니다.
[1] | 1619 |
320 |
전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
[1] | 1605 |
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O2 플라즈마 클리닝 관련 질문
[1] | 1568 |
318 |
plasma 형성 관계
[1] | 1542 |