안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2921
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 14123
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50055
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62367
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80738
200 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1005
199 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 999
198 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 997
197 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 993
196 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 989
195 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 982
194 자기 거울에 관하여 982
193 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 955
192 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 953
191 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 950
190 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 932
189 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 931
188 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 930
187 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 926
186 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 923
185 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 919
184 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 913
183 플라즈마 코팅 [1] 906
182 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 904
181 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 899

Boards


XE Login