Others 플라즈마 내에서의 현상

2016.06.08 00:50

김준민 조회 수:1279

플라즈마 안에서는 원자들끼리 (비)탄성충돌이 발생하거나 그로 인해서 재결합이나 전하 이동, 여기, 이온화, 이완, 분리 같은 현상들이 발생하는 것으로 아는데 이런 현상들이 플라즈마의 유동에도 영향을 미치는지 궁금합니다. 그리고 플라즈마 난류 시뮬레이션에 이런 현상들이 반영되는지도 궁금합니다. 특수한 상황에서는 고전적인 MHD로 플라즈마 유동을 설명할 수 없다고 하던데 그런 것들이 플라즈마 내에서 발생하는 현상들과 관련이 있는 것인지 궁금하여 질문 드립니다. 답변 부탁드리겠습니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73070
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17637
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55521
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65716
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86076
247 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1334
246 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1319
245 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1317
244 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1316
243 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1313
242 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1305
241 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1299
240 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1297
239 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1295
238 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1288
» 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1279
236 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1273
235 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1272
234 doping type에 따른 ER 차이 [1] 1271
233 Ar plasma power/time [1] 1268
232 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1267
231 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1263
230 MATCHER 발열 문제 [3] 1253
229 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1246
228 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1245

Boards


XE Login