안녕하세요 김곤호 교수님 저는 수중방전 관련 연구를 하고있는 학생입니다.

수중 방전관련해서 부족한 점이 너무 많아서 이렇게 질문을 드리게 되었습니다.

1. DC50V이하의 저전압 수중방전에서 UV가 발생하지 않을시 OH라디칼이나 플라즈마를 측정할수 있는 방법이 있는지 궁금합니다.

2. 저전압 수중방전에서 전기분해와 수중 플라즈마 방전의 차이점을 알고 싶습니다.

3. 전극의 형상과 인가전압[pulsed,pulseless]에 따라 전자가 받는 에너지[eV]를 구할수 있는 식이나 내용과 관련된 책이 있는지 궁금합니다.

4. 수중방전에서 아크, 코로나, 글로우 방전 각각의 특징을 알고 싶습니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] 76845
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20253
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57192
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68745
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92603
316 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1535
315 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1534
314 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1525
313 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1513
312 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1513
311 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1502
310 charge effect에 대해 [2] 1469
309 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1466
308 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1466
307 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1466
306 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1465
305 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1464
304 알고싶습니다 [1] 1463
303 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1460
302 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1456
301 ICP lower power 와 RF bias [1] 1454
300 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1451
299 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1445
298 Ar plasma power/time [1] 1439
297 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1435

Boards


XE Login