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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68542
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296 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1461
295 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1450
294 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1448
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292 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1446
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290 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1441
289 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1438
288 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1435
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286 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1429
285 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1426
284 plasma 형성 관계 [1] 1424
283 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1417
282 Ar plasma power/time [1] 1414
281 MATCHER 발열 문제 [3] 1411
280 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1404
279 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1404
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