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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Pecvd 장비 공정 질문
[1] | 1175 |
217 |
CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문
[1] | 1155 |
216 |
Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다.
[1] | 1150 |
215 |
CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도
[1] | 1139 |
214 |
플라즈마 기초입니다
[1] | 1126 |
213 |
ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다.
[2] | 1093 |
212 |
PECVD 증착에서 etching 관계
[1] | 1072 |
211 |
EEDF, IEDF, Cross section관련 질문
[1] | 1070 |
210 |
플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다.
[2] | 1066 |
209 |
Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다.
[3] | 1064 |
208 |
[CVD] 막 증착 관련 질문입니다.
[4] | 1051 |
207 |
CCP 챔버 접지 질문드립니다.
[1] | 1045 |
206 |
자기 거울에 관하여
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205 |
I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다.
[1] | 1029 |
204 |
ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요??
[1] | 1023 |
203 |
안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다.
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플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요.
[1] | 1018 |
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micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다.
[1] | 1012 |
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Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여
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쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다.
[1] | 1002 |