Others TMP에 대해 다시 질문 드립니다.

2009.09.27 23:42

서현 조회 수:18005 추천:146

저희 장비에는  TMP컨트롤러가 설치되어 있지 않습니다.
그렇기 때문에 앞서 질문드렸던 것 처럼 정지시까지 3시간 OFF  time을 주고 있습니다.

문제는 이 3시간 입니다.

어떤 사유로 실험을  반복 한다든지 아니면 늦게 시작 한다 든지 ...
이럴 땐  TMP off time 3시간이 정말 길게 느껴지네요...

제가 느끼기에  TMP on또는 off 시 제트엔진 소리가 들립니다.
그리고 실험 과정에서도  챔버와 게이트밸브의 열고 닫음을  제트엔진 소리체크 합니다.

하지만 제트엔진 소리 10분 내에 사라집니다.

그럼 제트 엔진 소리가 들리지 않는다는것은 TMP가 멈추었다는 거 아닌가요???
전원을 내려도 되는 거 아닙니까??

TMP RPM이 0 에 올때까지 얼마나 걸리나요?

그것이 TMP OFF  인데...아무리 생각해도 3시간이란 시간은 너무 긴거 같아서요..

인터넷에서 저희 가 사용하는 TMP 메뉴얼 찾아보고 있는데 상당히 짜증납니다.
3시간 기다리는것도 지겨워 죽겠고...
오늘도 실험실에서  자정을 넘기며~ 글을 남깁니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76736
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20206
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68702
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92280
309 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1518
308 plasma 형성 관계 [1] 1517
307 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1517
306 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1507
305 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1499
304 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1488
303 charge effect에 대해 [2] 1465
302 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1464
301 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1463
300 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1460
299 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1459
298 알고싶습니다 [1] 1458
297 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1454
296 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1453
295 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1445
294 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1445
293 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1442
292 Ar plasma power/time [1] 1437
291 ICP lower power 와 RF bias [1] 1436
290 MATCHER 발열 문제 [3] 1429

Boards


XE Login