ATM Plasma 상압 플라즈마 방전에 관한 문의

2011.06.20 10:33

김동영 조회 수:20311 추천:10

안녕하세요

조금전 상압 플라즈마 방전과 관련한 내용을 전화로 문의드렸던 사람입니다.

서면으로 정리하여 문의드리는 쪽이 편하다고 하시어 이렇게 글을 남기게 되었습니다.


우선 저희가 연구중인 제품은 저온 상압 플라즈마 방전을 이용한 이온발생기로서 기본적인 목적은

항균/탈취/바이러스 제거 등 실내공기 정화입니다.


저희가 사용하는 방식은 아래와 같습니다.



1. 출력 전압 : ± 2.5kV ~ 4.5kV (DC, AC pulse 두가지 타입)

2. 사용 전극 : 침상 전극 (+), (-) 각 1개
- 두개의 전극간 이격 거리 : 30mm (최적의 전극간 이격거리를 현재 찾고 있음)
- 침상 전극의 형태는 얇은 철판을 5mm X 10mm 크기로 끝을 뾰족하게 만든 전극형태를 사용

3. 구동조건 : 상압,상온

4. 외관 : 침상 전극에 다치지 않도록 커버가 있으나, 공기의 유입이 가능하도록 직경 5pi 수준의 구멍이
  각각의 전극 상단에 위치함


이에 문의드리고자 하는 내용은,

1) 최적의 저온 상압 플라즈마 방전의 조건
- (+)이온, (-)이온의 발생이 가장 많이되는 최적의 출력전압조건(DC, AC or pulse / Voltage level)
- 침상전극의 형태
- 침상전극간 이격 거리

2) 저온 상압 플라즈마 방전에 대한 논문등의 자료
- 추천하시는 논문/서적/사이트/연구실/전문기관/전문가 등


적다보니 너무 광범위한 내용이 되어버려서 죄송합니다.

아는 것은 적은데 알고 싶은것이 너무 많은 탓이라 이해해주시면 감사하겠습니다.

바쁘시겠지만 검토부탁드리며, 회신 기다리고 있겠습니다.

감사합니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76728
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20191
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68700
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92278
309 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1955
308 N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] 11414
307 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4179
306 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 845
305 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1911
304 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3052
303 Dry Etching Uniformity 개선 방법 [2] 4270
302 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1220
301 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1850
300 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1686
299 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3806
298 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3162
297 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9842
296 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 8644
295 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1330
294 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1810
293 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2239
292 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1395
291 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2891
290 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9666

Boards


XE Login