Deposition 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다.
2013.07.18 16:47
지금 모기업에서 인턴을 하면서 CVD파트에 대해서 공부를 하고있습니다.
PECVD를 과정에서 플라즈마의 균일도가 중요 하다고 합니다.
이때 어떠한 변수들이 플라즈마의 균일도에 영향을 주는지 궁급합니다.
이와더불어 N2플라즈마와 수소플라즈마의 차이점에 대해서 알고 싶습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76751 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20217 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57170 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68707 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92312 |
310 | 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] | 6540 |
309 | 안녕하세요, 질문드립니다. [2] | 6569 |
308 | 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] | 6586 |
307 | 저온 플라즈마에 관해서 [1] | 6648 |
306 | ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] | 7089 |
305 | RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] | 7230 |
304 | 정전척 isolation 문의 입니다. [1] | 7620 |
303 | CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] | 7652 |
302 | 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] | 7704 |
301 | MFP에 대해서.. [1] | 7825 |
» | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 8036 |
299 | 고온 플라즈마 관련 | 8090 |
298 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8122 |
297 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8133 |
296 | RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] | 8173 |
295 | 핵융합에 대하여 | 8564 |
294 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8573 |
293 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8580 |
292 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8600 |
291 | N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] | 8619 |