ESC 정전척 isolation 문의 입니다.
2013.08.29 16:00
안녕하세요
이번에 정전척부분을 설계하게 되었습니다.
정전척과 cooling plate는 연결되어 있고 그 조립품은 챔버와 isolation시켜야 한다는데 그 이유가 궁금합니다.
또 isolator는 얼마만큼의 두께로 선정해야 하는지 궁금합니다.
isolator의 재질은 ptfe를 사용하려고 합니다.
선정공식이나 선정 근거에 대한 도움부탁드립니다.
안녕히계세요.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76875 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20274 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57199 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68751 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92696 |
| 317 | 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] | 6410 |
| 316 | 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] | 6419 |
| 315 | O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] | 6435 |
| 314 | O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] | 6451 |
| 313 | 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] | 6472 |
| 312 | 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] | 6492 |
| 311 | 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] | 6499 |
| 310 | 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] | 6540 |
| 309 | 안녕하세요, 질문드립니다. [2] | 6570 |
| 308 | 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] | 6677 |
| 307 | 저온 플라즈마에 관해서 [1] | 6685 |
| 306 | ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] | 7109 |
| 305 | RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] | 7263 |
| » | 정전척 isolation 문의 입니다. [1] | 7646 |
| 303 | CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] | 7660 |
| 302 | 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] | 7705 |
| 301 | MFP에 대해서.. [1] | 7830 |
| 300 | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 8054 |
| 299 | 고온 플라즈마 관련 | 8090 |
| 298 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8126 |