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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
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339 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1661
338 plasma 형성 관계 [1] 1646
337 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1646
336 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1623
335 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1616
334 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1611
333 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1596
332 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1592
331 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1583
330 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1577
329 ICP lower power 와 RF bias [1] 1570
328 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1566
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325 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1518
324 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1512
323 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1510
322 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 1509
321 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1505
320 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1503
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