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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61093
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179 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 834
178 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 832
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176 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 830
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173 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 815
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166 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 754
165 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 753
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162 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 747
161 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 747
160 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 747

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