Deposition 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다.

2013.07.18 16:47

김용범 조회 수:8051

 

지금 모기업에서 인턴을 하면서 CVD파트에 대해서 공부를 하고있습니다.

PECVD를 과정에서 플라즈마의 균일도가 중요 하다고 합니다.

이때 어떠한 변수들이 플라즈마의 균일도에 영향을 주는지 궁급합니다.

 

이와더불어 N2플라즈마와 수소플라즈마의 차이점에 대해서 알고 싶습니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76864
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20265
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57197
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68750
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92666
297 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9844
296 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 8690
295 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1332
294 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1820
293 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2249
292 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1396
291 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2910
290 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9673
289 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2179
288 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1956
287 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2693
286 자료 요청드립니다. [1] 6209
285 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 16952
284 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3167
283 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6680
282 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1466
281 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3559
280 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5827
279 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8621
278 the lines of magnetic  induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [1] file 3978
쓰기
태그

Boards

XE Login