PM을 한번 하시죠
2009.03.13 09:01
챔버 내부 Clean을 한번 하시죠
Polymer가 많이 나오면 Etch rate이 떨어지고 Throttle v/v의 angle이 변하는 경우도 있습니다.
Polymer가 많이 나오면 Etch rate이 떨어지고 Throttle v/v의 angle이 변하는 경우도 있습니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76881 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20276 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57199 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68754 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92707 |
298 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8126 |
297 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8139 |
296 | 핵융합에 대하여 | 8564 |
295 | RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] | 8580 |
294 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8581 |
293 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8582 |
292 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8620 |
291 | N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] | 8621 |
290 | Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. | 8706 |
289 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 8738 |
288 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8755 |
287 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8929 |
286 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 9000 |
285 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9044 |
284 | 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] | 9253 |
283 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9266 |
282 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9533 |
281 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9537 |
280 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9643 |
279 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9674 |