Plasma in general Plasma Cleaning 관련 문의
2021.11.30 15:37
안녕하세요.
Plasma를 이용한 Cleaning 공부를 하고 있는 직장인 입니다.
Remote Plasma Asher 설비를 공부하고 있는데요,
PR Remove 시에는 O2 Gas를 사용하여 제거하는 것으로 알고있습니다.
C + O* → O2↑
여기서 O2를 Plasma로 방전시키고, N2 Gas를 Carrier gas로 사용하는데,
여기서 Carrier gas는 말 그대로 Radical을 이동시키는 역할만 하는 것인가요??
N2 Gas를 Carrier gas로 사용하는 이유가 궁금합니다.
추가로 Corrosion 방지를 위해 H2O Gas도 사용하는 것으로 알고 있는데요,
H2O 로 Corrosion을 방지하는 원리도 설명 부탁드립니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76851 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20257 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57192 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68747 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92609 |
| 297 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8136 |
| 296 | RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] | 8549 |
| 295 | 핵융합에 대하여 | 8564 |
| 294 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8581 |
| 293 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8582 |
| 292 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8614 |
| 291 |
N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다.
[1]  | 8621 |
| 290 | Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. | 8683 |
| 289 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 8733 |
| 288 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8751 |
| 287 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8928 |
| 286 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 8993 |
| 285 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9042 |
| 284 | 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] | 9245 |
| 283 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9265 |
| 282 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9525 |
| 281 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9527 |
| 280 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9639 |
| 279 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9671 |
| 278 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9844 |