DC glow discharge DC Plasma 전자 방출 메커니즘
2018.04.19 11:22
반도체 장비업체에서 일하고 있는 사람입니다.
전기, 전자 전공으로 최근에 Plasma에 관심이 생겨서 공부하고 있습니다.
DC Plasma에서 전자방출 메커니즘이 여러가지가 있는 것으로 알고 있습니다.
타운센트 방전 이론에 의한 알파, 감마 작용는 이해가 가는데,
1. 플라즈마 내부 광자에 의한 음극에서의 이차 전지 방출(Photoemission)
2. 준안정(metastable) 종이 음극을 때릴 때 이차 전자 방출
위의 두가지가 무엇을 의미하는지 잘 모르겠습니다.
알고계시는 선배님들 알려주시면 감사하겠습니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76736 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68702 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
| 289 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 8722 |
| 288 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8739 |
| 287 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8919 |
| 286 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 8981 |
| 285 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9029 |
| 284 | 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] | 9230 |
| 283 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9261 |
| 282 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9508 |
| 281 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9520 |
| 280 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9636 |
| 279 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9666 |
| 278 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9843 |
| 277 | ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] | 9849 |
| 276 | 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] | 9963 |
| 275 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10300 |
| 274 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10355 |
| 273 | matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] | 10355 |
| 272 | 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] | 10379 |
| 271 | RGA에 대해서 | 10543 |
| 270 | DC bias (Self bias) [3] | 11262 |