ATM Plasma 유전체 플라즈마

2004.06.19 16:54

관리자 조회 수:17556 추천:292

유전체 플라즈마에 관심이 많으시군요. 저희 실험실도 DBD 실험을 하고 있으며 자동차에도 적용할 수 있을 것으로 기대합니다.

질문에서 일반적인 DBD 반응기의 경우 구조가 전극+유전체+공기+유전체+전극의 구조로 되어 있고 그 이유에 대한 궁금증인것 같습니다. 전극 앞의 유전체가 하는 일은 발생한 플라즈마로부터 전극으로 직접 빠져 나가는 전하를 가두고 또한 이차전자를 방출하는 역할을 합니다. 만일 전극 사이에서 플라즈마가 발생되면 전극 사이에 있는 공기는 더 이상 절연성이 높은 유전체가 아닙니다. 오히려 전기 전도도가 좋은 물질, 즉 플라즈마와 공기 개스가 혼재된 상태의 유전 물질로 변하게 됩니다. 따라서 그 특성은 전극 표면의 유전체와는 본질적으로 다른 것입니다. 아울러 전극 간에서 일어나는 break down에 대하여 궁금해 하였는데 저희 강의록을 찾아 보면 Paschen curve에 대한 내용이 있습니다. DC 방전이 일어날 수 있는 조건을 개념적으로 설명해 놓았으니 참고하시기 바랍니다. 다라서 DBD에서 일어나는 방전은 corona 방전과는 달리 넓은 면적에서 방전이 일어나는 특징을 갖아 면방전이라 부르기도 하는 glow 방전의 일종이 됩니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76731
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20201
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68701
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92280
289 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2173
288 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1950
287 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2686
286 자료 요청드립니다. [1] 6207
285 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 16946
284 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3165
283 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6648
282 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1463
281 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3557
280 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5806
279 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8618
278 the lines of magnetic  induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [1] file 3977
277 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7619
276 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8572
275 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 8034
274 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] 9230
273 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 7088
272 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6472
271 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9849
270 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6410

Boards


XE Login