Others SCCM 단위에 대하여 궁금합니다.
2004.06.25 13:02
===============================<질문>=======================================
안녕하십니까??
궁금한게 있어여...
플라즈마 장비를 공부하다가 이상한 단위를 만나서요...
좀 알려 주세요.. sccm 이라는 건데요...
무슨 가스량을 나타내는 단위이긴 한거 같은데.. 정확한 내용을 몰라서요..
어떤 뜻인지..알고 계시면 좀 알려주세요.. 부탁 드립니다.. 좋은 하루 되세요...
==============================<답변>========================================
SCCM 은 flow rate를 의미합니다. 즉 torr-liter/sec (t-l/s)와 같이 쓰입니다.
sccm은 standard cc per minute로 (0C, 1atm 상태에서의 값입니다.)
1sccm= 6.02e23/22400cm^3 molecules / min 즉 분당에 2.7e19개의 분자입자들이 흘러들어가는 정도의 기체유량을 의미합니다.
참고로 1 t-l/sec와는 79.05sccm인 관계가 있으며 1 t-l/sec= 2.13e21 molecules/min의 관계입니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [272] | 76806 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20240 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57185 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68736 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92564 |
292 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1431 |
291 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 1429 |
290 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1425 |
289 | poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. | 1417 |
288 | 플라즈마 관련 교육 [1] | 1410 |
287 | dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] | 1404 |
286 | 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] | 1397 |
285 | Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] | 1396 |
284 | 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] | 1395 |
283 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1391 |
282 | Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] | 1381 |
281 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 1378 |
280 | [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] | 1377 |
279 | Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] | 1361 |
278 | low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] | 1358 |
277 | Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] | 1354 |
276 | Plasma Cleaning 관련 문의 [1] | 1352 |
275 | 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] | 1348 |
274 | CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] | 1339 |
273 | ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] | 1338 |