플라즈마를 띄울떄 먼저 찾아 보아야 할 자료가 있습니다. 사용하는 가스에 대해서 방전개시전압 (breakdown voltage: 절연파괴전압이라 하는데 이는 방전기 전극 사이의 가스를 하나의 절연체로 보고 이 절연체에 전류가 소통하기 시작할 때의 인가 전압) 혹은 방전 개시 전기장에 대해서 자료를 찾아 보시는 것이 좋습니다. 공기의 경우 제 기억에 Vb=3000d+1.35kV 이고 (여기서 d 는 전극간의 간격), 상응하는 전기장 Eb=3000+1.35/d (kV/m)가 됩니다. 또한 각각의 입자의 이온화 에너지를 생각해 보는 것이 좋습니다. (본 게시판에 방전개시에 필요한 현상 설명이 있으니 찾아 보시기 바랍니다) 따라서 방전은 가스의 종류와 운전 압력 및 방전기 구조에 따라 틀려지게 됩니다. 매우 유속이 빠른 경우를 제외하고는 방전기 내의 유속 보다 중요한 것은 방전 공간의 압력이 되겠고, 이때 플라즈마가 형성되면 이온화율로 얼마나 많은 플라즈마 이온과 전자 쌍이 생겼을까를 고려하게 됩니다. 이들 중에 특히 전자는 플라즈마를 유지시키는데 필요하고 아울러 같이 넣은 가스들을 화학적 활성종으로 만드는데 크게 기여하게 됩니다. 아울러 이온은 처리 시편에 에너지를 가진 화학종 (입자) 입사의 역할을 하여 반응을 활성화 시키게 됩니다. 따라서 플라즈마 띄울때는 플라즈마 방전 혹은 이온화의 의미로 자료를 찾아 보시는 것이 좋고, 플라즈마가 발생되면 이온화율 (압력에 따른 단위 부피 당 몇 개의 입자가 플라즈마가 되었는가)가 중요하게 됩니다. 이 값은 처리 수율에 직접 관계하는 인자이기 때문에, 어떤 처리를 위해서 전력을 높여라, 압력을 높여라 (가스 flow rate높여라) 하는 조건이 함유하고 있는 물리적 현상을 이해할 수가 있습니다.