Sheath RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다.
2012.11.07 17:15
안녕하세요. 고려대학교 김동석 입니다.
스퍼터링 장비 사용 중 학술적인 문의사항이 있어 질문 드립니다.
1. DC sputtering 사용 중 power supply에 표시되는 DC bias는 막질에 어떤 영향을 주나요?
공부가 부족하여 단순히 Sheath에서 걸리는 전위차라고만 알고 있는데...
DC bias가 증가하는 경우와 감소하는 경우 성막에 어떠한 차이를 유발하는지 궁금합니다.
2. RF sputtering 에는 DC bias가 존재하나요?
RF 스퍼터링의 경우 sheath가 생성되지 않으면 DC bias가 존재하지 않을텐데, 장비에는 어떤(?) 의미인지 모를
bias가 표시되더라구요.. -40V 이런 식으로 말입니다. 이게 어떠한 의미를 담고 있는지 궁금합니다.
3. Matching box의 Ground는 어떤 영향을 줄 수 있나요?
RF system의 접지를 floating으로 한 경우와, earth 를 잡았을 경우 어떠한 차이점이 있는지 궁금합니다.
지면접지를 잡아야 한다면 다른 장비들과 어떤 식으로 연결해야 하는지.. 궁금합니다.
여러 자료를 찾아가며 공부하던 중, 토론방에 글을 올려봅니다.
다른 글들도 읽어보았는데, 제가 플라즈마 전공자가 아니라서 잘 이해가 가지 않았어요..
많이 배워가겠습니다. ^^
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76794 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20230 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57178 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68723 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92502 |
291 | N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] | 8620 |
290 | Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. | 8670 |
289 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 8729 |
288 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8745 |
287 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8926 |
» | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 8989 |
285 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9038 |
284 | 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] | 9243 |
283 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9262 |
282 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9518 |
281 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9523 |
280 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9637 |
279 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9667 |
278 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9844 |
277 | ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] | 9858 |
276 | 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] | 9981 |
275 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10307 |
274 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10363 |
273 | matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] | 10375 |
272 | 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] | 10381 |