Deposition PEALD관련 질문
2019.06.21 13:12
안녕하십니까?
현재 에쳐장비 현업에 종사하고 있는데...
PEALD관련논문을 서치중에 있습니다.
PEALD관련 혹시 추천해주실 논문이나 자료가 있다면, 부탁드리겠습니다.
감사합니다.
수고하십시오.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76735 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68702 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
289 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 8721 |
288 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8739 |
287 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8919 |
286 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 8980 |
285 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9029 |
284 | 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] | 9230 |
283 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9261 |
282 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9508 |
281 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9520 |
280 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9636 |
279 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9666 |
278 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9843 |
277 | ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] | 9849 |
276 | 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] | 9963 |
275 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10299 |
274 | matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] | 10353 |
273 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10355 |
272 | 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] | 10379 |
271 | RGA에 대해서 | 10543 |
270 | DC bias (Self bias) [3] | 11262 |
에처 쪽의 PEALD 관심은 passivation 막 증착 과정의 세밀한 제어를 목적으로 할 것 같습니다. 공정 난도가 클 때 쓰는 기술로서 개발되는 것으로 알고 있습니다. 이 부분은 실공정 기술에 경험이 있는 팀이 잘 알것 같군요. 원리에 대해서는 많은 교재가 있는 것으로 알고 있습니다. 아울러 장비 쪽으로 문제를 보려면 아래 '질소 플라즈마..' 댓글로 부터 펄스 플라즈마 역할과 접목해서 문제를 보시기 바랍니다.