번호 제목 조회 수
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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 26329
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 63511
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 75168
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 108641
335 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [웨이퍼 bending] [1] file 1953
334 반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment] [1] 1946
333 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [플라즈마 내 전자 축적] [1] 1939
332 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [RF Power와 reflection] [1] 1925
331 Ar plasma power/time [Self bias와 sputtering 효과] [1] 1902
330 charge effect에 대해 [Self bias 및 capacitively couple] [2] 1892
329 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [Plasma density와 Balance equation] [1] 1889
328 데포 중 RF VDC DROP 현상 [부유 전극의 self bias 형성] [1] 1887
327 Plasma etch 관련 질문이 드립니다. [Sheath와 uniformity] [1] 1883
326 SI 표면에 Ar Plasma Etching 하면 안되는 이유 [표면 전처리] [1] 1880
325 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning] [1] file 1877
324 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [Physical sputtering과 cleaning] [1] 1875
323 알고싶습니다 [Seasoning, 플라즈마 공정 및 부품 표면 특성 데이터] [1] 1867
322 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [라디컬의 화학반응성 및 DC 타깃 전극] [1] 1847
321 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1845
320 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [Matcher와 dynamic impedance] [1] 1825
319 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [챔버 벽면 성질 및 가스 손실] [1] 1818
318 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 1815
317 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [Matcher의 알고리즘] [1] 1806
316 MATCHER 발열 문제 [Mathcer와 plasma impedance] [3] 1800
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